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（1）導通損耗小，由于其開關速度快、使得其開關損耗也低，因此提高了高頻電源的電能轉換效率，實現了節能的目的。
（2）驅動需要的功率小，降低了驅動電路的功耗和器件本身產生的熱量。除去節能外、還有利于電路工作穩定性的提高。
（3）耐壓高，工作余量大，使其工作更安全、可靠，有利于降低高頻電源的故障率。
（4）內置肖特基二極管，比一般快恢復二極管速度快、抗電流過載能力強、有利于提高工作穩定性；因無需外接快恢復二極管，使單橋臂器件的數量降低一半、減少了故障點，同時有利于工作均流、工作狀態一致性好，降低了故障率。
（5）更突出的一點是碳化硅SIC-MOSFET的性價比高。客觀和實事求是地說，用固態器件MOSFET構成的高頻感應加熱電源替代由真空電子管構成的高頻感應加熱電源是一個質的跨越。而由碳化硅SIC-MOSFET替代普通硅MOSFET將開啟感應加熱電源的另一個新篇章。